SiC石墨盘

 石墨托盘

技术
1)用于LED外延片加工石墨顶板;
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。

功能
1)较低的热膨胀系数
2)thermak导电性更好
3)稳定的化学perfermance
4)更好的耐蚀性
5)较强的导电性

规范
数量单位
体积密度1.85克/立方厘米
比电阻11 - 14 uΩm
抗压强度90 mpa
挠曲强度40 mpa
肖氏硬度60
灰分500 ppm
平均粒度20 um
膨胀系数4.5 gte
弹性模量11平均绩点