单晶硅石墨托盘

   LED外延用石墨托盘 单晶硅石墨托盘 多晶硅石墨托盘 SiC石墨盘

     石墨托盘是一种用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘，包括若干个设置在承载盘上方的晶圆凹槽，用于置放外延晶圆衬底，所述晶圆凹槽的内侧边缘设置有一挡板结构，且所述挡板与晶圆衬底成互补关系，二者以挡板、晶圆衬底的平边为重合边构成大致圆形，所述挡板结构能够减少在外延生长过程晶圆凹槽中的晶圆衬底平边空隙位置，保证晶圆衬底平边温度和气流稳定，从而提高外延晶圆衬底的边缘良率。

     上海弘竣实业有限公司生产的半导体外延片生长的CVD石墨托盘采用德国进口石墨,具有更好的稳定性、更长的使用寿命。还可根据客户的要求定制。更好的为半导体厂商服务。